半導(dǎo)體制造行業(yè)對精度、速度以及潔凈度要求非常高。由于空氣軸承具有潔凈度好、重復(fù)性好、速度高、剛度大、零摩擦、零振動與低噪音等特點，所以非常適合用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。一般空氣軸承可以用在晶圓切割、晶片檢測、晶片修復(fù)、減薄、刻蝕等諸多領(lǐng)域。