近日，牧風科技成功交付與國內(nèi)某著名高校合作開發(fā)的光刻機部件產(chǎn)品。

接到項目任務伊始，牧風迅速組織科研力量進行設(shè)計研討、工藝路線評審等基礎(chǔ)準備工作。很短的時間內(nèi)便完成了承片臺空氣軸承的設(shè)計、生產(chǎn)。通過與需求單位的共同總裝調(diào)試，設(shè)備總體精度（1μm）滿足性能指標要求。

本套光刻機的成功交付，證明了牧風科技的實力。同時，增強了牧風科技在精加工/超精加工、空氣軸承及其解決方案等相關(guān)領(lǐng)域大踏步昂首向前的信心。